Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники Часть 2 Издательство: Бином Лаборатория знаний, 2010 г Твердый переплет, 184 стр ISBN 978-5-94774-910-6 Тираж: 1000 экз Формат: 150x220 инфо 3733m. |
Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соедиаыгеннений и вспомогательных материалов Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника" Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области Авторы Владимир Рощин Максим Силибин. |