Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соедиаыгеннений и вспомогательных материалов Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника" Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области Авторы Владимир Рощин Максим Силибин.